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NvA-MC3000 시리즈는 반도체 소재업체 및 반도체 양산라인에서 사용하는 공정 Chemical 내의 금속 불순물을 전자동으로 모니터링하는 시스템이며,

분석을 담당하는 Central Analysis Unit(CAU)과 샘플을 채취하여 CAU로 전송하는 여러 개의 Satellite Sampling Unit(SSU)로 구성되어 있습니다.

SSU는 CCSS(중앙케미컬공급시스템)나 소재업체의 Gas 저장 탱크 또는 이송 Pipe에 연결하여 시료를 채취하고 CAU로 전송하는 기능을 하며,

CAU는 전송된 시료를 분석하고 그 결과를 Host로 전송하는 역할을 합니다. 

NvA-MC3000 시리즈는 자체 Calibration 시스템, 자동 희석 시스템 등을 갖추고 있으며, 분석실 뿐만 아니라 반도체 양산 라인에서도 사용가능한

안전시스템을 갖추고 있습니다.

• ㆍ 전자동 시료 채취, 전송 및 분석
  ㆍ 하나의 SSU(Satellite Sampling Unit) 당 5 채널까지 지원 가능 (1 채널 SSU도 가능함)
  ㆍ CAU(Central Analysis Unit)는 4개의 SSU까지 지원 가능 (최대 20채널 지원)
  ㆍ 점성의 Chemical을 위한 자동 희석 시스템
  ㆍ 이중 구조의 시료 전송 파이프와 자동 shutdown 시스템 등의 안전 설계.
  ㆍ 공장 자동화 및 Host 통신 지원
  ㆍ 자동 Calibration 시스템을 통한 정량 분석 가능
  ㆍ 시료 전송 파이프의 자동 세정 기능

• ㆍ 검출한계 : >10 ppt (1.0E8 atoms/cm^2)
  ㆍ 사이클 시간 : 4 시간
  ㆍ 검출원소 : Li, Na, Mg, Al, Ca, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn Ge, As, Cd, Ln, Ba, Ta, W, Pb, etc.
  ㆍ 분석기 : ICP-MS (Agilent 7900/8900)

• ㆍ 반도체 소재업체의 출하 품질 관리
  ㆍ 반도체 양산라인의 공정설비에 사용되는 공정 chemical의 상시 모니터링